咨询热线

18923898569

当前位置:首页  >  技术文章  >  探针台是半导体行业重要的检测装备之一

探针台是半导体行业重要的检测装备之一

更新时间:2022-06-22      点击次数:1448
探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一,其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
 
探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的 CP 测试环节,负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。在半导体器件与集成电路制造工艺中,从单晶硅棒的制取到最终器件制造的完成需经过复杂的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测,探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,大大降低器件的制造成本。
 
半导体的测试环节,主要包括芯片设计中的设计验证、晶圆制造中的晶圆测试(CP测试)和封装完成后的成品测试(FT测试)。半导体测试设备主要包括测试机、探针台和分选机。在所有的测试环节中都会用到测试机,不同环节中测试机需要和分选机或探针台配合使用。