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uf200探针台是专为通用逻辑装置而设计的设备

更新时间:2024-06-04      点击次数:1760
  uf200探针台是一种用于生物学领域的电子测量仪器,专为通用逻辑装置而设计,支持对8英寸及8英寸以下晶圆进行自动测试,支持200um薄片的测试,测试温度范围从室温到150度。它不仅继承了UF200的基本概念,同时进一步采用了新技术的架构。可以提供晶圆OCR自动识别,自动控制、与测试机联动对8英寸及8英寸以下晶圆进行自动测试的筛选。
 
  一、产品特点:
 
  1、它可执行5至8英寸晶圆的传输与针测。
 
  2、采用和UF2000相同的MMI。
 
  3、多种选择,可达成所有非业界标准种类的晶圆针测。
 
  4、增加生产量和生产率;
 
  5、减少的应用程序的要求或测试时间短的大量测试成本;
 
  6、40%-50%增进系统的吞吐量和降低生产成本。
 
uf200探针台
 
  二、uf200探针台使用方式:
 
  1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
 
  2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
 
  3、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
 
  4、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针前进少许,再使用Z轴旋钮进行下针,最后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
 
  5、确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。

  三、设备还有以下选项:
 
  1、针测环境可接纳高温至低温;
 
  2、英寸晶圆探测环境;
 
  3、枢纽型机械手臂是为了针测端而设计;
 
  4、封装与超薄晶圆的传输是经由特殊传输机制;
 
  5、SEMS是经由特殊机制传输;
 
  6、微小电流针测环境;
 
  7、高压电针测环境;
 
  8、广泛多样的网络环境;
 
  9、探针追踪检查功能。
uf200探针台