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国产探针台的方式与原理分析

更新时间:2024-04-29      点击次数:1372
  一、探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
 
  二、背景介绍:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其核心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文仅对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。
 
  三、特点分析:
 
  (1)OTS-较近的位置对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其绝对位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于东京精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。
 
  (2)QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统)为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。
 
  四、相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。
 

国产探针台