半自动探针台是一种广泛应用于半导体制造和检测的设备，它的主要作用是通过对半导体芯片进行准确的探针测试，以确保其质量和性能符合要求。
一、主要由以下几个部分组成：
探针系统：探针系统是核心部分，它包括一组探针，这些探针可以准确地与半导体芯片上的电极接触，从而实现对芯片的电气性能进行测试。
显微镜系统：显微镜系统用于观察和定位半导体芯片，以确保探针准确地与芯片上的电极接触。
X-Y-Z 运动系统：X-Y-Z 运动系统用于将探针系统移动到测试位置，并控制探针在半导体芯片上的移动。
控制系统：控制系统用于控制半自动探针台的所有动作，包括探针的移动、测试过程的控制以及数据的采集和处理等。
二、性能特点
高精度：采用先进的机械和电气设计，具有高精度的定位和测试能力，可以实现对半导体芯片的每个电极进行准确的探针测试。
高可靠性：采用稳定的机械结构和可靠的电气元件，具有高可靠性和长寿命的特点，可以长时间稳定地工作。
自动化程度高：可以自动完成测试、数据采集和处理等操作，大大提高了测试效率。
多功能性强：可以实现对多种类型的半导体芯片进行测试，可以适应不同的测试需求。
三、应用
半导体制造：在半导体制造过程中，可以用于检测半导体芯片的质量和性能，确保其符合制造要求。
科研实验：在科研实验中，可以用于对半导体材料和器件进行测试和分析，以研究其电学、光学等方面的性质和规律。
产品检测：在产品检测中，半自动探针台可以用于对已制造完成的半导体芯片进行电气性能的检测，以确保其符合产品要求。
