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射频探针台的发展历程

更新时间:2022-08-10      点击次数:874
  随着半导体市场的逐步开放和增长,射频探针台作为半导体检测仪器,其市场也在逐年增长和扩大中,不论是海外品牌还是国产品牌,近几年在半导体检测仪器市场中的规模都在逐年扩大。这里面说的半导体元件指的是集成电路,分立器件,光电器件,传感器等元件以及封装的测试。本设备主要的功能就是针对半导体元件进行检测,通过配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流,电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析,抽查检测等;可以保证这些半导体元件的质量,缩短研发时间和器件制作工艺的成本,所以,它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。
 
  从传统上讲,射频探针的接触是用铍-铜制作的。而且人们在较早时期采用射频探针技术与今天的工具是很不相同的。早期探针使用了由一个很短的50-Ω微带线,通过探针基片上一个小孔而与被测器件的压点相接触。此时,其技术难度在于如何突破4GHz时实现可重复测量。虽然有可能通过校准过程来剔除一个相对较大的串联电感的影响,但当圆晶片的夹具被移动时,辐射阻抗会有较大的变化。高频测量使用的设计与用于直流和低频测量的极尖不同,而且须使50-Ω环境尽可能地接近于DUT压点。
 
  之后工程师在探针技术上取得了突破,才确定了射频探针的基本要求和工作原理,射频(RF)探针在射频产品生命周期中几乎每一个阶段都起着重要作用:从技术开发,模型参数提取,设计验证及调试一直到小规模生产测试和生产测试。通过使用射频探针,人们便有可能在晶片层次上测量射频组件的特性。这可以将研究和开发时间缩短并且大大降低开发新产品的成本。
 
  射频探针台是半导体、晶圆、集成电路中重要的检测设备,随着全球半导体产业向中国转移,我国探针台市场需求持续攀升。当前受益于5G、人工智能等产业发展带动,半导体芯片出货量维持增长趋势,则探针台行业长期景气。在生产方面,随着国内生产技术不断革新,国产化率提升。