MPI 高低温半自动探针台

一、MPI 12英寸高低温半自动探针台的产品特点：

（1）多种晶圆测量应用

• 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f

• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性测试 - 精确的压力测试

• 先进的测试控制软件套件

（2）ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

• 专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量测环境，以得到最佳的 1/f 超低噪测试结果

• 支援 fA ji超低噪 IV 量测

• 可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

• 具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C
     

（3）工效学设计及弹性选配

• 简易便利的前门单晶圆/待测物上片设计

• 内建防震系统

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作

• 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)

• 选配具自动进行露点控制功能

• 预留制冷机组空间，节省空间不占位

• 仪器架选配，可缩短射频电缆之架设长度，提供最高的量测机能

二、设备简介：

（1）TS3000-SE是TS3000探针台系统的进一步开发，配备MPI ShielDEnvironment™，可实现超低噪声，极其精确和高度可靠的DC / CV，1 / f，RTS和RF测量，主要满足设备的需求表征，  晶圆级可靠性以及RF和mmW  应用。

（2）*的主动冷却探头压板设计可在-60°C至300°C的宽温度范围内提供最大的稳定性，使TS3000-SE探头系统成为在不同热条件下测试设备的jue佳选择。

三、MPI 12英寸高低温半自动探针台的机台特征：