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全自动|射频测试专用自动测试探针台
适用于多种量产型晶圆级射频量测应用：
• 射频量测 - 至高 67 GHz & 4 埠
• 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测量产可靠性
• 专为 24 / 7 稳定可靠的量产测试而设计
工效学设计及弹性选配：
• 简易便利的前门单晶圆上片设计
• 大面积工作台设计，可乘载至多 12x DC 或4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5" 标准探针卡夹具
• 双晶圆拾取器和内建的晶圆预对准功能，有效提升产出
• 另有多种晶圆载物台和配件可做选择
• 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
• 另有向上影像镜头可选配，协助探针 - 待测物对准
• 可选配薄晶圆处理选项
| 适用晶圆尺寸： | 100，150，200mm(4，6，8in) |
| 晶圆卡匣标准： | Semi E1 |
| 晶圆卡匣容量： | 2 |
| 第一片晶圆上片时间： | 50Sec |
| 晶圆交换时间： | 20Sec |
| 薄晶圆换片： | 智慧辨识晶圆拾取高度 |
| 适用晶圆厚度： | 一般晶圆和至薄50µm的薄晶圆 |
| 晶圆预对准： | 光学扫描，支持晶圆缺口和平边辨识 |
| 晶圆ID读取器（选配）： | 影像辨识，可选配上方或下方镜头 |
| 卡匣槽位辨识： | 雷射辨识 |
全自动|射频测试专用自动测试探针台
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