200mm8英寸射频半自动探针台

MPI TS2000是世界范围内成熟的探针系统的自然演变，其专用设计满足先进半导体测试市场的要求。200mm 8英寸射频半自动探针 台 系统与所有MPI系统附件*兼容，200mm 8英寸射频半自动探针 台 主要用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件测试的特殊要求。

TS2000可用于环境温度和/或仅热温度操作模式，速度快达10 Dies /秒（取决于最终配置），这使其成为离散RF设备上预生产电气测试的理想选择

适用于多种量产型晶圆量测应用
• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 射频量测 - 至高 67 GHz & 4 埠
• 高功率量产测试 - 至高 10 kV / 600 A
• 集成电路设计验证 - 室温至 300 °C

量产可靠性
• 专为 24/7 稳定可靠的量产测试而设计
• 内建被动式防震桌
• 可另选配避震基座
• 适用于室温至 300 °C 量测

工效学设计及弹性选配
• 简易便利的前门单晶圆上片设计
• 大面积工作台设计，可乘载至多 12x DC 或 4x
DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具
• 另有多种晶圆载物台、4.5“ 探针卡夹具可做选
择，亦有诸多配件如 DC/RF 微定位器、光学显
微镜等可搭载，以*支援您的应用需求