MPI 8英寸高低温探针 台

一、MPI 8英寸高低温探针 台的产品特点：

（1）适用于多种晶圆量测应用：

• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 失效分析 - 探针卡 / 节间探测

• 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

• 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A

（2）MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境：

• 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

• 支援飞安级低漏电值量测

• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C

（3）工效学设计及弹性选配：

• 便利的晶圆单片上片，搭配简单快速的晶圆预对准功能，实现自动化流程简单化

• 垂直点测控制环境 (Vertical Control Environment, VCE™)，方便安全有效地侧面观察点测区域

• 内建防震系统

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作

• 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™) 选配，方便在任意温度进行上片/下片，并自动进行露点控制

三、设备简介：

MPI的TS2000-SE是市场上200 mm自动化工程探测系统，集成了专为降低测试成本而设计的创新功能。这些功能集成在MPI ShielDEnvironment™中，可实现超低噪声，非常精确和高度可靠的DC / CV，RF和高功率测量。