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探针台| MPI 12英寸高低温半自动探 针台

简要描述:探针台| MPI 12英寸高低温半自动探 针台系统的进一步开发,配备MPI ShielDEnvironment™,可实现超低噪声,极其精确和高度可靠的DC / CV,1 / f,RTS和RF测量,主要满足设备的需求表征, 晶圆级可靠性以及RF和mmW

  • 产品型号:TS3000-SE
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-18
  • 访  问  量:746

详细介绍

一、探针台| MPI 12英寸高低温半自动探 针台的产品特点:

(1)多种晶圆测量应用

  • 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f

  • 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

  • 可靠性测试 - 精确的压力测试

  • 先进的测试控制软件套件

(2)ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

  • 专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量测环境,以得到最佳的 1/f 超低噪测试结果

  • 支援 f

  • 级超低噪 IV 量测

  • 可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

  • 具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

(3)工效学设计及弹性选配

  • 简易便利的前门单晶圆/待测物上片设计

  • 内建防震系统

  • 完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作

  • 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)

  • 选配具自动进行露点控制功能

  • 预留制冷机组空间,节省空间不占位

  • 仪器架选配,可缩短射频电缆之架设长度,提供最高的量测机能


二、探针台| MPI 12英寸高低温半自动探 针台的设备简介:


(1)TS3000-SE是TS3000探针台系统的进一步开发,配备MPI ShielDEnvironment™,可实现超低噪声,极其精确和高度可靠的DC / CV,1 / f,RTS和RF测量,主要满足设备的需求表征,  晶圆级可靠性以及RF和mmW  应用。

(2)*的主动冷却探头压板设计可在-60°C至300°C的宽温度范围内提供最大的稳定性,使TS3000-SE探头系统成为在不同热条件下测试设备的选择。


三、机台特征:

MPI-TS3000-SE-Automated-Probe-System-Fact-Sheet_00.png

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