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MPI 卡盘系统
根据客户不同的要求,MPI提供了多种选择。从环境温度到-60°C至300°C。
| 可用选项的示例包括带有真空孔的专用顶表面,镀金或纯绝缘材料制成的表面。创新的思维和技术专长使MPI设计与众不同,并且基于特定应用程序的实际需求。MPI 探针台用卡盘系统 |
特点与优势
ERS集成技术 在不同温度下进行晶圆探测仍然是一个重大挑战。MPI热卡盘的统一软件和硬件集成。新的集成技术IT
| 新型300 mm热卡盘AirCool ®PRIME 李有成 的家庭,60%,而最大的品种在市场热范围提供与减少浸泡时间的热弹性。 这些系统可以配置为具有-60°C,-40°C,-10°C,20°C或30°C的较低温度起点,并具有200°C或300°C的较高终点–所有这些为了使热性能适应不同的要求和预算。气冷 ®PRIME 技术可以在没有冷却器的情况下在-10°C下进行测试,或者使用非常小的冷却器在-40°C下进行测试,从而使系统成本效益,从而降低了总体测试成本。 减少转换时间,改善电气性能,在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool的附加价值 ®PRIME 热卡盘系 |
高热稳定性探针台板所有MPI 300°C系统都包括专用的高热稳定性探针压板,无论温度范围如何,都能实现最佳的接触质量。 | ERS获得的AC3冷却技术公司这些卡盘结合了获得的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可大幅减少30%至50%的空气消耗。 |
所有MPI RF卡盘都包括两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的RF校准。 |
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