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初步认识什么是手动探针台

更新时间:2022-08-23      点击次数:1234
   手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。
  
  首先我们先来了解什么是探针台?
  它是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
  
  主要功能:
  搭配外接測試测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表,量测半导体器件IVCV脉冲/动态IV等参数。
  探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上,从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件,多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。
  
  应用范围:
  手动探针台广泛用于I-V/C-V测试,脉冲I-V测试,RF/mmW测试,高压、大电流测试,MEMS、光电器件测试,晶圆级失效分析、霍尔测试等等应用方向的测试测量。图形化界面操作系统可方便设置多种外接电源、多个IV同时测试,数据图表叠加显示等多种功能,实现I-V/C-V等测试。