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emmi微光显微镜是一款效率高的分析工具

更新时间:2022-11-10      点击次数:952
  emmi微光显微镜是利用高增益相机/探测器来检测由某些半导体器件缺陷/失效发出的微量光子的一种设备。当对样品施加适当电压时,其失效点会因加速载流子散射或电子-空穴对的复合而释放特定波长的光子。这些光子经过收集和图像处理后,就可以得到一张信号图。撤去对样品施加的电压后,再收集一张背景图,把信号图和背景图叠加之后,就可以定位发光点的位置,从而实现对失效点的定位。
 
  对于故障分析而言,微光显微镜是一种相当有用且效率高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中,EHP Recombination会放出光子(Photon)。举例说明:在P-N 结加偏压,此时N阱的电子很容易扩散到P阱,而P的空穴也容易扩散至N然后与P端的空穴(或N端的电子)做 EHP Recombination。
 
  OBIRCH(光束诱导电阻变化)
 
  光诱导电阻变化(OBIRCH)模式能快速准确的进行IC中元件的短路、布线和通孔互联中的空洞、金属中的硅沉积等缺陷。其工作原理是利用激光束在恒定电压下的器件表面进行扫描,激光束部分能量转化为热能,如果金属互联线存在缺陷,缺陷处温度将无法迅速通过金属线传导散开,这将导致缺陷处温度累计升高,并进一步引起金属线电阻以及电流变化,通过变化区域与激光束扫描位置的对应,定位缺陷位置。OBIRCH模式具有高分辨能力。
 
  emmi微光显微镜特点:
 
  ①InGaAs采集相机,在近红外区域具备高灵敏度;
 
  ②分辨率高;
 
  ③多倍率图像采集:5X~100X;
 
  ④超低温电制冷降低暗电流带来的信噪;
 
  ⑤电制冷/空气冷却自由转换。