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高低温探针台能满足各种温度的需求

更新时间:2022-11-17      点击次数:596
   高低温探针台主要用于材料电学表征和测量的微型桌面型电学测量台,是专为晶片、器件和材料(薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等)提供真空和高低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测量,还可以在真空、气氛环境下对材料进行电学测量评估,是实验室测量薄膜材料电学材料常备工具,广泛用于高校、科研、航天航空、军工院所等领域。
  
  性能优势:
  1、满足各种温度的需求:可以满足非常高的温度或非常低的温度的需求,因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
  当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
  
  2、体积小,稳定性高:与传统探针台相比,高低温真空探针台的稳定性更高,采用先进的技术工艺,让探针台在工作过程中流畅性更高,平稳性更高,从而保证每次实验数据的稳定性,这样实验得出的结果就会更加准确,对于企业快速研发新产品有很大帮助。
  
  3、成本更低,可兼容直流跟射频测试的运用:与传统探针台相比,高低温探针台采用先进的合成材料,成本方面比传统探针台更低,但是功能性都更加强大。
  
  使用范围:
  高低温真空环境下的芯片测试,资料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。