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opus探针台是如何工作的?

更新时间:2022-09-13      点击次数:3805
   opus探针台是半导体行业重要的检测装备之一,也是开展微电子与光电子原型器件研究的基本设备,可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。可用于各种有机半导体器件与纳米器件的电学性能评估、电学行为分析等。
  
  半导体测试可以按生产流程可以分为三类:验证测试、晶圆测试测试、封装检测。
  opus探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。晶圆检测环节还需要使用测试仪/机,测试仪/机用于检测芯片功能和性能,它实现被测芯片与测试机的连接,通过它和测试机的配合使用,可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试,可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。
  
  探针台如何工作?
  它可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针jian端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针jian端都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。
  
  对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。