半导体场发射扫描电镜

GeminiSEM 560 引进了 Gemini 3 型镜筒，创下了表面成像技术新高度。 Smart Autopilot 这一新型智能自动光路调节引擎是为方便您使用高分辨率成像 技术而特别定制的，即使要对敏感样品进行超高分辨率的成像也是轻而易举。 GeminiSEM 560 在任何工作条件下都能达到该系列的最高分辨率，突破了常规 浸没式表面成像技术的上限。半导体场发射扫描电镜