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系统集成
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ESD闩锁测试系统
ESD闩锁测试系统是基于日本日新电子（HANWA ELECTRONIC IND.CO.,LTD）产的分析仪器，主要用于模拟人体模式（HBM）、机器模式（MM）、器件充电模式（CDM）等不同静电放电模式，并执行闩锁测试（Latch-up）。该系统具备广泛的测试参数范围，包括HBM脉冲电压±10V至±8000V，MM脉冲电压±10V至±4000V，以及CDM充电电压0V至±4000V [1-2]。主要使用:HED-S5000R/ HED-N5000 和HED-C5000R
| CDM电压 | ±4000V | 闩锁电流脉冲 | ±5mA～±1000mA |
| 测试管脚数 | 256PIN-1024PIN | 静放电测试 | 支持人体模式（HBM）、机器模式（MM）和器件充电模式（CDM）可模拟不同静电放电场景对样品的敏感度进行测试。 |
| 闩锁测试 | 提供电流脉冲范围±5mA至±1000mA，电压脉冲范围0V至±100V，用于检测半导体器件的闩锁效应。 | ||
该系统能够模拟人体模式(HBM)、机器模式(MM)以及器件充电模式(CDM)对样品进行静电敏感度的测试，并具备Latch up的测试功能
