特点：

•  无需消耗制冷剂

•  全程无值守降温

•  丰富的选件和配件

•  远程软件控温

•  芯测能实现很低温度的闭循环制冷机探针台

•  可定制最大4in的样品台(标配2in)

规格：

◆  样品台：镀金样品台(三同轴、同轴、接地)

◆  样品台尺寸：2英寸/4英寸

◆  显微镜：最小分辨率2μm或4μm可选

◆  探针臂：最多可安装6个探针臂、X方向行程：50mm、移动分辨率3μm;Y、Z方向行程：25mm,移动分辨率5μm

◆  探针配置：DC探针、射频探针、光纤探针可选

◆  真空系统：机械泵或分子泵

◆  真空度：5×10^-3Pa(室温)、5×10^-5Pa（很低温）

◆  温度范围：4.5K-350K(两个针臂)、5.5K-350K(四个针臂)、6K-350K(六个针臂)、20K-675K(高温选件)

◆  温控精度：小于300K、±50mK、大于300K、±100mK

◆  低振动选件：真空泵与腔体间机械物理隔振、压缩机与冷头之间机械物理隔振、桌面气浮隔振、极限低振动小于1μm

结构：