该设备具有四个可以进行微调的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行三维方向上的精准定位。

设备特点：

1，可更换样品台

2，80K-245K宽温区

3，温度稳定性50MK

4，探针位移精度10微米

5，三个DC同轴探针臂

6，一个微波40G探针

7，探针XY轴行程25MM