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设备具备多功能,能够兼容8吋以下晶圆、晶圆残片、扩晶环、裸芯片、SIP器件的常温及高低温自动探针测试;• 提供-60℃~200℃高低温卡盘及温控系统;• 特制的微孔真空吸附卡盘,可更好地兼容晶圆和
设备具备多功能,能够兼容8吋以下晶圆、晶圆残片、扩晶环、裸芯片、SIP器件的常温及高低温自动探针测试;
• 提供-60℃~200℃高低温卡盘及温控系统;
• 特制的微孔真空吸附卡盘,可更好地兼容晶圆和多颗裸芯片的吸附固定;
• 晶圆采用人工上料,卡盘可完全拉出台面,更方便进行晶圆取放;
• 具备AutoXY自动校正功能,自动完成晶圆的校正及对位;
• 具备AutoZ功能,自动补偿Z轴的扎针高度,支持不平整晶圆的扎针高度自动调节;
• 支持扩展VAP自动对针系统;
• 支持MPW晶圆Map功能,可在一个Map中定义完整的MPW晶圆;
• 支持裸芯片或SIP器件从晶圆环(Wafer ring)、芯片盒(Gel Pack 或 Waffle Pack)全自动上下料;
• 通过视觉图像识别自动校正技术,实现裸芯片或SIP器件探针测试时坐标的自动校正 补偿,确保精准扎针。