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12英寸全自动射频探针台
12英寸全自动射频探针台
产品特点:
1,专为多种晶圆测试应用而设计
模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV,ESD,1/f
射频、毫米波、射频频率可设置可从26GHz到 110GHz或更高。
晶圆级可靠性-用于精确的压力和测量条件
lin先的测试执行软件套装的驱动程序
2,WaferWalletTM 操作平台
设计有五个单独的托盘,可按人体工学方式手动装载150、200或300毫米的“模型”晶圆
在多个温度条件下全自动测试可多达五个相同的晶圆
有在任何温度下装载/卸载晶片的*能力
3,ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量测环境,以得到最佳的 1/f 超低噪测试结果
支援 fA ji超低噪 IV 量测
可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作
具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C
3,工效学设计及弹性选配
从正面轻松放置晶片或单个DUT
内建防震系统
完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作
安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)选配具自动进行露点控制功能
预留制冷机组空间,节省空间不占位
仪器架选配,可缩短射频电缆之架设长度,提供最高的量测机能
设备简介:
TS3500和TS3500-SE 在功能上与MPI著名的已建立的 TS3000 和 TS3000-SE 300毫米探针台具有相同的功能,通过配置或升级MPI*的WaferWallet™,可以实现全自动功能。MPI的解决方案通过提供比其他供应商的半自动化产品更少的*自动化功能,降低了客户的总体测试成本。
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