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12英寸全自动射频探针台产品特点:
1.专为多种晶圆测试应用而设计
●模块量测-DC-IV,DC-CV,Pulse-IV,ESD,1/f。
●射频、毫米波、射频频率可设置可从26GHz到110GHz或更高。
●晶圆级可靠性-用于精确的压力和测量条件。
●lin先的测试执行软件套装的驱动程序。
2.WaferWalletTM操作平台
●设计有五个单独的托盘,可按人体工学方式手动装载150、200或300毫米的“模型”晶圆。
●在多个温度条件下全自动测试可多达五个相同的晶圆。
●有在任何温度下装载/卸载晶片的*能力。
3.ShielDEnvironment™屏蔽环境
●专为EMI/RFI/Light-tight屏蔽所设计的精密量测环境,以得到最佳的1/f超低噪测试结果。
●支援fA ji超低噪IV量测。
●可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作。
●具配置弹性的温度可量测范围-60°C至300°C。
4.工效学设计及弹性选配
●从正面轻松放置晶片或单个DUT。
●内建防震系统。
●完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作。
●安全测试管理系統(Safety Test Management,STM™)选配具自动进行露点控制功能。
●预留制冷机组空间,节省空间不占位。
●仪器架选配,可缩短射频电缆之架设长度,提供最高的量测机能。
12英寸全自动射频探针台设备简介:
TS3500和TS3500-SE在功能上与MPI著名的已建立的TS3000和TS3000-SE 300毫米探针台具有相同的功能,通过配置或升级MPI*的WaferWallet™,可以实现全自动功能。MPI的解决方案通过提供比其他供应商的半自动化产品更少的*自动化功能,降低了客户的总体测试成本。
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