12英寸全自动射频探针台

12英寸全自动射频探针台产品特点：

1.专为多种晶圆测试应用而设计

●模块量测-DC-IV,DC-CV,Pulse-IV，ESD,1/f。

●射频、毫米波、射频频率可设置可从26GHz到110GHz或更高。

●晶圆级可靠性-用于精确的压力和测量条件。

●lin先的测试执行软件套装的驱动程序。

2.WaferWalletTM操作平台

●设计有五个单独的托盘，可按人体工学方式手动装载150、200或300毫米的“模型”晶圆。

●在多个温度条件下全自动测试可多达五个相同的晶圆。

●有在任何温度下装载/卸载晶片的*能力。

3.ShielDEnvironment™屏蔽环境

●专为EMI/RFI/Light-tight屏蔽所设计的精密量测环境，以得到最佳的1/f超低噪测试结果。

●支援fA ji超低噪IV量测。

●可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作。

●具配置弹性的温度可量测范围-60°C至300°C。

4.工效学设计及弹性选配

●从正面轻松放置晶片或单个DUT。

●内建防震系统。

●完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作。

●安全测试管理系統(Safety Test Management,STM™)选配具自动进行露点控制功能。

●预留制冷机组空间，节省空间不占位。

●仪器架选配，可缩短射频电缆之架设长度，提供最高的量测机能。

12英寸全自动射频探针台设备简介：

TS3500和TS3500-SE在功能上与MPI著名的已建立的TS3000和TS3000-SE 300毫米探针台具有相同的功能，通过配置或升级MPI*的WaferWallet™，可以实现全自动功能。MPI的解决方案通过提供比其他供应商的半自动化产品更少的*自动化功能，降低了客户的总体测试成本。