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德国进口晶圆光学检测设备

简要描述:德国进口晶圆光学检测设备凭借着多年的行业经验及技术积累,我们可以为客户提供半导体在片测试解决方案、材料电性能测试设备、微波射频器件测量等测试技术服务。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-12
  • 访  问  量:1067

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详细介绍

检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求

高性能、高性价比

可靠的结果

数字集成

它具有优异的可用性和先进的自动化功能,是要求日常任务的理想选择。相比起更先进的光学显微镜,它兼顾强大的性能与经济的价格。


使用带编码的组件和先进的光学技术,Axioscope 提供可靠的,可再现的结果。此外,自动化的Axioscope7 能够使您的工作流程*自动化-所以它能很快成为实验室的得力助手。
           


靠着Axiocam系列相机和ZEN 2 core成像系统,Axioscope成为一个强大的数字文档系统。从设备控制-到图像采集、分析以及储存您的分析数据,Axioscope提供了一个*数字化的工作流程。

一、德国进口晶圆光学检测设备的应用:

从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆,甚至整个平板显示器,检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的最大样品高度为254 mm,最大横向样品空间为300 mm,大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。

二、德国进口晶圆光学检测设备的特点:

(1)具有两种手动机柱和一种电动机柱(配有符合工业标准的三个模式控制按钮)可供选择,充分利用显微镜的最大横向样品空间300 mm x 300 mm和最大样品高度254 mm的优势。

(2)Axio Imager Vario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品,依然可以获得高聚焦精度和可重复性。

(3)借助硬件自动对焦功能,可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。

(4)将Axio Imager Vario与LSM 900结合使用,能够以高分辨率无接触地分析敏感样品。

(5)Axio Imager Vario已通过DIN EN ISO 14644-1认证,并满足5级洁净室的应用要求。


 

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