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晶圆 2D/3D AOI 检验显微镜

简要描述:进料的wafer,经过正反面目检和显微镜正面micro检查,进行检查和分选。操作员不接触wafer,避免了污染和损伤wafer。
晶圆 2D/3D AOI 检验显微镜

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-04-02
  • 访  问  量:1238

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详细介绍

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进料的wafer,经过正反面目检和显微镜正面micro检查,进行检查和分选。操作员不接触wafer,避免了污染和损伤wafer。


性能描述:

标准配备1个Load port,单臂翻转Robot,Pre-aligner,目检台和显微镜。

  • 兼容8寸和12寸wafer

  • 标准load port可以对应FOUP,AutoFOSB自动开盖,具备mapping功能

  • 高精度运动机构,低噪音,低尘,无需供油。

  • 触摸屏操作,界面友好。

  • 对应GEM300,采用SEMI标准软件

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