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高压探针台通过TS2000-DP,MPI提供了一个多功能且经济高效的探针台,半自动|MPI 8英寸高压探针台适用于20°C至300°C温度范围内的晶圆上高功率器件测量,测量能力高达3 kV(三轴)/ 10 kV(同轴)和600 A(脉冲)。
射频探针台,12英寸全自动射频探针台设计有五个单独的托盘,可按人体工学方式手动装载150、200或300毫米的“模型”晶圆。